安徽谱纯气体科技有限公司

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特种气体系统的设计与施工

供气系统的选择

简单供气系统

简单供气系统主要针对4英寸及以下半导体芯片厂、半导体材料的科研机构以及一些单台的工艺设备等。它们的制程简单，通常不需要连续性供气，哪里有特种气体，对气体供应系统的投资预算低。

惰性气体瓶架则采用全手动系统，有些甚至用单瓶系统。所有气体共用一个气体房，甚至没有气体房，特气钢瓶和输送系统有时放在回风夹道，或直接放在工艺制造设备旁边或隔壁。如果没有特别危险气体一般共用一个抽风系统。简单供气系统通常存在安全隐患。

特种气体系统的设计与施工

辅助系统的设计

气体柜或控制面板在安装和运输的过程中由于搬运和震动，阀门、接头、过滤器等的更换、或其他原因、需要对其重新进行高压气密性试验和氦检，气体的置换也需要用到高压氮气或氦气，所以特气柜需设计接入高压惰性气体氦气或氮气。一般选择在特气房设置一台或多台惰性气体柜。

特气柜中装有各种气体驱动阀，主管路在送气前必须进行管道的吹扫和空气的置换，所以还需辅助有高纯氮气和洁净压缩空气系统。氮气系统采用SUS316L-EP管，CDA可采用SUS316L-BA管，西安特种气体，其管径根据气柜的多少来计算决定。

特种气体:高纯氯1气

高纯氯1气应用

高纯氯1气主要用于液晶平板显示器、光纤和半导体行业，被用作蚀刻气体和脱水剂，而其中光纤行业用量较大。光纤1主要参数是损耗，无论是石英光纤还是浮化玻璃光纤中的损耗，主要是由OH-阴离子、过渡金属离子和稀土金属离子引起的。因为光散射、光吸收主要是由OH-产生的，所以必须脱除光纤中的OH-离子。为了降低损耗，处需要光纤制造系统精良和所有原材料纯度高外，哪家特种气体公司专业，其关键是在制造光纤工艺中通入高纯氯1气，有效除去OH-离子。因此，高纯氯1气是生产光纤不可或缺的原材料。

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